Mikroskopia różnicowania ogniskowego (z j. ang. focus variation microscopy) polega na wykorzystaniu ostrości obrazu powierzchni (lub innej właściwości światła odbitego przy najlepszym zogniskowaniu) w mikroskopie optycznym do oceny wysokości nierówności powierzchni. InfiniteFocus G5 to optyczne urządzenie pomiarowe 3D o uniwersalnym zastosowaniu. Technologia InfiniteFocus łączy w sobie funkcjonalność urządzeń do pomiaru powierzchni oraz maszyn współrzędnościowych. Nawet przy skomplikowanym kształcie i dużych obszarach pomiaru IF G5 uzyskuje obraz o rozdzielczości pionowej do 10 nm.