Start
Baza wiedzy
Automatyka pomiarowa i inspekcyjna Wstępne pozycjonowanie płytki krzemowej

Wstępne pozycjonowanie płytki krzemowej
w procesie litografii, kontroli lub przetwarzaniu końcowym

Płytki krzemowe przechodzą przez wiele procesów podczas wytwarzania. Niektóre procesy takie jak litografia, laserowa obróbka wykańczająca, lub kontrola mikroskopem elektronowym wymagają dokładnego ogniskowania.

Używając czujnika pojemnościowego lub wiroprądowego do kontrolowania pozycji narzędzia trzymającego płytkę, można zapewnić dokładne ogniskowanie oraz/lub zwiększyć wydajność, poprzez zapewnienie szybszego wstępnego ogniskowania.

*dokument opracowano na podstawie materiałów firmy Lion Precision - https://www.lionprecision.com/quikapps-prefocus-positioning-of-silicon-wafer-for-lithography-inspection-or-post-processing/

Treść powyższego artykułu korzysta z ochrony udzielanej przez przepisy ustawy z dnia 4 lutego 1994 r. o prawie autorskim i prawach pokrewnych (j.t. Dz. U. z 2006 r. Nr 90, poz. 631 ze zm.). Każdy z Klientów zobowiązany jest do poszanowania praw autorskich pod rygorem odpowiedzialności cywilnoprawnej oraz karnej wynikającej z przepisów tej ustawy. Treść artykułu – w całości bądź jakiejkolwiek części – może być wykorzystywana tylko w zakresie dozwolonego użytku osobistego. Wykorzystanie tego artykułu - w całości bądź jakiejkolwiek części - do innych celów a w szczególności - komercyjnych, w tym kopiowanie, publiczne odtwarzanie, lub udostępnianie osobom trzecim w jakikolwiek inny sposób, może następować tylko pod warunkiem uzyskania wyraźnego pisemnego zezwolenia ITA i na warunkach określonych przez ITA. W celu uzyskania zgody na wykorzystanie zawartości Strony, należy skontaktować się z ITA za pośrednictwem formularza kontaktowego dostępnego w zakładce Kontakt. Korzystanie z powyższej treści w celu innym niż do użytku osobistego, a więc do kopiowania, powielania, wykorzystywania w innych publikacjach w całości lub w części bez pisemnej zgody ITA jest zabronione i podlega odpowiedzialności cywilnoprawnej oraz karnej wynikającej z przepisów ustawy o prawie autorskim i prawach pokrewnych.

ITA spółka z ograniczoną odpowiedzialnością Sp. k. ul. Poznańska 104, Skórzewo,  
60-185 Poznań

Kontakt

+48612225800 +48612225800